Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs tragt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinaren Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Aubetaerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlagt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.
- ISBN10 128066326X
- ISBN13 9781280663260
- Publish Date 1 January 2012 (first published 3 June 2005)
- Publish Status Active
- Out of Print 17 February 2015
- Publish Country US
- Imprint Wiley-Vch
- Format eBook
- Pages 592
- Language English