Prozesstechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunachst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturubertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluss daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozess fur die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
- ISBN10 3540176705
- ISBN13 9783540176701
- Publish Date 8 March 1991
- Publish Status Active
- Publish Country DE
- Publisher Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
- Imprint Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
- Edition Softcover Reprint of the Original 1st 1991 ed.
- Format Paperback (US Trade)
- Pages 500
- Language German